CN120261393A 键合晶圆的制造方法 （上海新傲芯翼科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120261393A

(43)申请公布日2025.07.04

(21)申请号202510406611.4

(22)申请日2025.04.01

(71)申请人上海新傲芯翼科技有限公司

地址201815上海市嘉定区新徕路200号

(72)发明人汪子文魏星李炜

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师钟晶

(51)Int.Cl.

H01L21/762(2006.01)

权利要求书1页说明书7页附图8页

(54)发明名称

键合晶圆的制造方法

(57)摘要

本发明提供一种键合晶圆的