CN120280402A 一种晶圆级碳化硅器件制作方法及碳化硅器件 (三住半导体(苏州)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-03 发布于重庆
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CN120280402A 一种晶圆级碳化硅器件制作方法及碳化硅器件 (三住半导体(苏州)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120280402A

(43)申请公布日2025.07.08

(21)申请号202510400994.4H01L23/538(2006.01)

(22)申请日2025.04.01

(71)申请人三住半导体(苏州)有限公司

地址221416江苏省苏州市工业园区凤里

街272号

(72)发明人冯坤赵海军孙森葛正东

(74)专利代理机构无锡市大为专利商标事务所

(普通合伙)32104

专利代理师马新军曹祖良

(51)Int.Cl.

H01L21/768(2006.01)

H01L23/373(2006.01)

H01L

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