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薄膜基体系统力学性能测试的新型鼓泡法

摘要

鼓泡实验是薄膜/基体系统力学性能重要的测试方法之一。本论文依据VonKarman非线性板理论和Reissner板理论，分别建立了薄膜/基体系统的圆柱平端压头和球形压头两种新的鼓泡实验力学模型，开展理论、数值、以及有限元模拟等方面的研究。

关键词

薄膜基体系统；力学性能测试；新型鼓泡法

一、引言

薄膜/基体系统在机械、电子、生物工程等众多领域有着极为广泛的应用。在机械领域，薄膜可增强基体的耐磨性与耐腐蚀性；电子领域中，其对电子器件的性能和小型化起着关键作用；生物工程领域里，薄膜/基体系统用于生物传感器、人工器官等方面。在此类系统中，表面薄膜的杨氏弹性模量、泊松比、残余应力以及膜/基界面粘附强度，对结构的稳定性、可靠性和耐久性分析具备重要的力学意义。因而，准确测试这些力学性质成为相关领域研究的重点。

常规测试方法多种多样，例如采用单向微拉伸、梁弯曲、静压鼓泡（膨胀）、轴载鼓泡、超声波速、共振频率、压痕、X射线衍射、光学荧光、拉曼光谱等方法，能够获取表面薄膜弹性模量、泊松比和残余应力我国玉米穗腐病主要致病镰孢菌多样性研究

；运用垂直拉拔、水平力矩、超速离心、超音速振动、透明胶带、剥皮、剪切、刮擦、静压鼓泡（膨胀）、轴载鼓泡、化学溶解热、X射线、悬臂梁等方法，则可获取膜/基界面粘附强度的信息。

轴加载鼓泡相较