CN120232907A 一种晶圆正背面检测系统及方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120232907A

(43)申请公布日2025.07.01

(21)申请号202510401720.7

(22)申请日2025.04.01

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人陈鲁董坤玲魏新和段晓炳

吴彦强张谦张鹏斌

(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事

务所(普通合伙)44316

专利代理师刘俊成

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/88(2006.01)