CN120237102A 半导体装置和装置制备方法 (张江国家实验室).pdfVIP

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  • 2026-08-05 发布于重庆
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CN120237102A 半导体装置和装置制备方法 (张江国家实验室).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120237102A

(43)申请公布日2025.07.01

(21)申请号202510387331.3

(22)申请日2025.03.28

(71)申请人张江国家实验室

地址201210上海市浦东新区海科路99号

(72)发明人李桢韩源源姜钰范艾杰

易海兰杨建国

(74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所

有限公司11038

专利代理师於菪珉

(51)Int.Cl.

H01L23/367(2006.01)

H10D80/30(2025.01)

H10B80/00(2023.01)

H01L21/48(2006.01)

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