电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则标准化发展研究报告.docx

电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

GeneralRulesforInductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometryforElectronicChemicals

摘要

——StandardizationDevelopmentResearchReport摘要随着集成电路制造工艺不断向纳米级节点演进，电子化学品中金属杂质的含量控制已成为影响器件良率与可靠性的关键因素。电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）凭借其灵敏度高、检出限低、多元素同时分析等突出优势，已成为电子化学品中痕量金属离子检测的主流技术手段。行业标准SJ/T11637-2016《电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则》自2016年发布实施以来，在规范检测方法、统一评价尺度方面发挥了重要作用。然而，随着高端制程对试剂纯度要求的持续提升以及新型电子化学品的不断涌现，该标准在适用范围、仪器配置、方法性能指标等方面已难以完全适应当前产业发展的实际需求。2025年，工业和信息化部以《工信厅科函〔2025〕528号》文件下达修订计划（项目编号：2025-1639T-SJ），由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口，杭州格林达电子材料股份有限公司联合中国电子技术标准化研究院、上海市计量测试技术研究院等单位共同承担SJ/T11637-2016的修订工作。本报告系统