GB/T 47753-2026微机电系统(MEMS)技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范.pdf

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  •   |  2026-07-02 颁布
  •   |  2027-02-01 实施

GB/T 47753-2026微机电系统(MEMS)技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范.pdf

ICS31.200

CCSL55

中华人民共和国国家标准

/—

GBT477532026

微机电系统()技术车规级

MEMS

MEMS半导体气体传感器技术规范

()—

Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnoloTechnicalsecificationof

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