GB/T 47752-2026微机电系统(MEMS)技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法.pdf

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  • 2026-08-06 发布于四川
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  •   |  2026-07-02 颁布
  •   |  2027-02-01 实施

GB/T 47752-2026微机电系统(MEMS)技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法.pdf

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT477522026IEC62047-432024

微机电系统()技术柔性微机电

MEMS

器件循环弯曲变形后电气特性测试方法

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