常用真空泵的清洗流程.pptx

常用真空泵的清洗流程

为了使系统内不存在任何一点易于大量放气的物质以及除去蒸气压较高的物质,必须进行彻底的处理。不同

的真空元件和不同的材料有其特殊的清洗方法，常用的真空元件清洗方法如下。

(1)好凯德旋片式真空泵的清洗

对无明显故障的好凯德旋片式真空泵的清洗,一般不拆开泵,只需从放油孔排出旧油及脏物,用漏斗从进气口注入新真空泵油(作洗涤用),用手慢慢的旋转泵轮几圈后,再把此油放出。用同样的方法重复一、二次,就可灌新油正式使用。对新好凯德旋片式真空泵不必清洗,但需要检查管道入口处是否清洁,有无异物,并擦去表面油灰。

(2)金属扩散泵的清洗

雅之雷德机电科技根据实际经验总结,可按下述步骤进行: