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半导体芯片洁净厂房建设规范.docx

半导体芯片洁净厂房建设规范.docx

    半导体芯片洁净厂房建设规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、建设目标与适用范围 6

    三、厂房选址与总图布置 10

    四、建筑平面与空间布局 12

    五、洁净等级划分 16

    六、工艺流程与物流组织 18

    七、人员流线与管理 21

    八、空气净化系统设计 22

    九、洁净室围护结构 27

    十、地面墙面与顶棚要求 29

    十一、给排水系统设计 31

    十二、纯水与废水系统 33

    十三、供配电与照明系统 35

    十四、接地与防静电设计 38

    十五、气体与化学品供应 40

    十六、消防与安全设施 43

    十七、振动噪声与微

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