CN119673773A 基于相变材料和ttsv结构的脉冲芯片散热结构及制备方法 (浙江大学绍兴研究院).pdfVIP

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  • 2026-08-12 发布于重庆
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CN119673773A 基于相变材料和ttsv结构的脉冲芯片散热结构及制备方法 (浙江大学绍兴研究院).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119673773A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411703618.4

(22)申请日2024.11.26

(71)申请人浙江大学绍兴研究院

地址312000浙江省绍兴市越城区迪荡街

道平江路2号绍兴水木湾区科学园3号

(72)发明人张睿陈兴聪

(74)专利代理机构浙江启明星专利代理有限公

司33492

专利代理师王浩杰

(51)Int.Cl.

H01L21/48(2006.01)

H01L23/367(2006.01)

H01L23/373(2006.01)

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