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微机电工艺流程测试试题与应用.docxVIP

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  • 2026-08-12 发布于江苏
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微机电工艺流程测试试题与应用.docx

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    微机电工艺流程测试试题与应用

    一、单选题（每题2分，共20分）

    1.下列哪一项不属于微机电系统（MEMS）的主要制造工艺？（）

    A.光刻技术

    B.深反应离子刻蚀（DRIE）

    C.激光直写技术

    D.熔融石英玻璃拉丝

    答案：D

    解析：微机电系统（MEMS）的主要制造工艺包括光刻技术、深反应离子刻蚀（DRIE）、激光直写技术、电铸技术、注塑成型技术等。熔融石英玻璃拉丝属于光学玻璃制造工艺，与MEMS制造工艺无关。

    2.在MEMS器件制造过程中，以下哪一步主要目的是增加薄膜与衬底之间的附着力？（）

    A.蒸发沉积

    B.氧化

    C.

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