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半导体芯片洁净车间管理规范.docx

半导体芯片洁净车间管理规范.docx

    半导体芯片洁净车间管理规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、车间分级要求 5

    三、人员准入管理 7

    四、洁净服管理 10

    五、设备准入管理 12

    六、温湿度控制 13

    七、压差控制 14

    八、空气过滤管理 16

    九、静电防护管理 18

    十、微粒控制要求 21

    十一、化学品管理 23

    十二、工艺操作规范 27

    十三、清洁消毒要求 31

    十四、污染源控制 33

    十五、异常处置流程 35

    十六、质量记录管理 38

    十七、培训与考核 41

    十八、安全管理 44

    总则

    定义与适用范围

    本规范适用

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