2026模拟混合信号芯片技术奇点:GaN与SiC在混合信号中的融合.docx

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2026模拟混合信号芯片技术奇点:GaN与SiC在混合信号中的融合

TOC\o1-3\h\z\u256442026模拟混合信号芯片技术奇点:GaN与SiC在混合信号中的融合 3

13919一、技术背景与融合趋势 3

139351.1GaN与SiC在功率电子领域的现状分析 3

285981.2从纯功率器件向混合信号集成的演进路径 5

32558二、关键材料与工艺突破 7

101892.1异质集成中的晶圆键合与应力管理技术 7

199772.2高电压CMOS兼容的GaN/SiC制造工艺优化 9

19321三

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