CN119169013A 光刻图像缺陷检测方法、装置、存储介质及系统 （华芯程(杭州)科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119169013A

(43)申请公布日2024.12.20

(21)申请号202411673513.9

(22)申请日2024.11.21

(71)申请人华芯程（杭州）科技有限公司

地址310000浙江省杭州市余杭区良渚街

道网周路99号1幢22层2208室

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构深圳市嘉勤知识产权代理有

限公司44651

专利代理师王敏生

(51)Int.Cl.

G06T7/00(2017.01)

G06T7/60(2017.01)

权利要求书2页说明书10页附