CN119164970A 一种晶圆缺陷自动检测装置及方法 （杭州光研科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119164970A

(43)申请公布日2024.12.20

(21)申请号202411670998.6

(22)申请日2024.11.21

(71)申请人杭州光研科技有限公司

地址311200浙江省杭州市萧山区经济技

术开发区建设二路858号集成电路设

计产业园B幢103室

(72)发明人陈海龙陈小利

(74)专利代理机构深圳鼎丞佰瑞知识产权代理

有限公司441149

专利代理师芦艳洁

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/88(2006.01)

G01N21/01(2006.01)

H01L