Q_ZMS(N) 36-2022 化学气相沉积金刚石导热片热导率测定方法.docxVIP

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Q/ZMS(N)

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司企业标准Q/ZMS(N)36—2022

化学气相沉积金刚石导热片热导率测定方

法

Determinationmethodforthermalconductivityofchemicalvapordepositiondiamondthermalconductivesheets

2022-09-30发布2022-12-01实施郑州磨料磨具磨削研究所有限公司发布

I

Q/ZMS(N)36—2022

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由郑州磨料磨具磨削研究所有限公司提出并归口。

本标准起草单位：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司功能金刚石部。

本标准主要起草人：曹博伦、徐帅、吴晓磊、刘晖、周文涛、康世豪。

本标准为首次发布。

Q/ZMS(N)36—2022

1

化学气相沉积金刚石导热片热导率测定方法

1范围

本标准规定了使用激光闪射法测定化学气相沉积（CVD）金刚石导热片热导率的术语和定义、测试原理、测试条件、测试设备、样品制备、测试步骤、数据处理及测试报告。

本标准适用于化学气相沉积（CVD