CN119804244A 晶圆测量方法、装置、电子设备和存储介质 （苏州镁伽科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804244A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202411662841.9

(22)申请日2024.11.20

(71)申请人苏州镁伽科技有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区东平

街277号

(72)发明人殷亚男董飞

(74)专利代理机构北京睿邦知识产权代理事务

所(普通合伙)11481

专利代理师徐丁峰戴亚南

(51)Int.Cl.

G01N15/0227(2024.01)

G01B11/24(2006.01)

G01B11/00(2006.01)

G01N15/02(2024.01)