GBT 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法标准立项发展报告.docx

微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MicrobeamAnalysis—TransmissionElectronMicroscopy—DeterminationofThicknessofFunctionalThinFilmsinIntegratedCircuitChips

摘要

关键词：微束分析；透射电子显微术；集成电路；功能薄膜；厚度测定；标准化；纳米计量

Keywords:MicrobeamAnalysis;TransmissionEl