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矿用MEMS地震仪实验研究

摘要：针对煤矿井下地震勘探中传统动圈检波器配合数字地震仪的不足，开展矿用微机电系统(Micro-Electro-Mechan-icalSystem,MEMS)地震仪研制与试验研究。对开发的矿用MEMS地震仪进行实验室测试。结果显示，该地震仪频带宽、抗电磁干扰能力强，测试性能良好，验证了实际应用可行性。研究为煤矿井下地震勘探提供了高效可靠的技术手段，对推动地震勘探技术发展具有重要意义。

关键词：MEMS;带宽；电磁干扰；灵敏度

1矿用MEMS地震仪简介

矿用MEMS地震仪借鉴节点式地震仪设计，集成传感与采集、全球定位系统(Global