应美盛股份有限公司 MEMS加速度计 技术手册 Specification.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN108369246B

(45)授权公告日2021.02.05

(21)申请号201680073707.2(72)发明人G·加弗埃力L·科罗纳托

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