CN119833430A 晶圆清洗设备及清洗方法 (北京晶亦精微科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-15 发布于重庆
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CN119833430A 晶圆清洗设备及清洗方法 (北京晶亦精微科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119833430A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202411667969.4

(22)申请日2024.11.20

(71)申请人北京晶亦精微科技股份有限公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发

区泰河三街1号2幢2层101

(72)发明人孙刚张康王渤蔡长益张波

何家鑫

(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理

有限公司11250

专利代理师闫旭

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

B08B5/02(2006.01)

B0

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