原创力文档《白光干涉检测仪》标准编制说明
一、工作简况
1.1任务来源
《白光干涉检测仪》团体标准由中国国际科技促进会归口管理，列入中国国际科技
促进会2025年度团体标准制定计划，计划编号：T/CI-2025235。
1.2制定背景
白光干涉检测技术是一种基于低相干干涉原理的非接触式精密测量技术，具有纳米
级纵向分辨率和微米级横向分辨率，可实现表面三维形貌、表面粗糙度、面形误差以及
微结构尺寸等参数的高精度测量。
近年来，随着半导体制造、精密光学元件加工、航空航天零部件制造、先进材料研
发及微纳制造等产业的快速
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