CN119287497A 一种n型4H碳化硅单晶生长装备及其生长方法 (合肥露笑半导体材料有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-16 发布于重庆
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CN119287497A 一种n型4H碳化硅单晶生长装备及其生长方法 (合肥露笑半导体材料有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119287497A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411674168.0

(22)申请日2024.11.21

(71)申请人合肥露笑半导体材料有限公司

地址231100安徽省合肥市长丰县双凤工

业区双凤路598号

(72)发明人郑建生鲁永张洪光朱哲洲

陈奇马永生金灿明

(74)专利代理机构上海恩凡知识产权代理有限

公司31459

专利代理师田嘉嘉

(51)Int.Cl.

C30B23/00(2006.01)

C30B29/36(2006.01)

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