GBT 40344.3-2024 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数标准立项发展报告.docx

真空技术真空泵性能测量标准方法第3部分：机械增压泵的特定参数标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—StandardMethodsforMeasuringVacuumPumpPerformance—Part3:SpecificParametersforMechanicalBoosterPumps

摘要

真空技术作为现代工业与科学研究的重要基础性支撑领域，其发展水平直接关系到半导体制造、光伏产业、航空航天、粒子加速器、薄膜沉积及医药化工等众多高端装备与战略新兴产业的技术进步。机械增