滑动轴承 气体静压轴承系统 运动精度测试方法标准化发展研究报告.docx

滑动轴承气体静压轴承系统运动精度测试方法

PlainBearings–TestMethodofMotionAccuracyforHydrostaticGasBearingsSystems:AStandardizationDevelopmentResearchReport

摘要

摘要气体静压轴承作为高端装备制造领域的核心基础零部件，其运动精度直接决定了精密机床、半导体制造设备、高精度测量仪器等重大装备的加工精度与运行稳定性。随着我国高端装备制造业的迅猛发展，对气体静压轴承运动精度的测试方法与评价体系提出了更为严苛的要求。本报告基于JB/T14369—