CN119247695A 一种卷对卷纳米压印装置及方法 (上海交通大学).pdfVIP

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  • 2026-08-16 发布于重庆
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CN119247695A 一种卷对卷纳米压印装置及方法 (上海交通大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119247695A

(43)申请公布日2025.01.03

(21)申请号202411663200.5

(22)申请日2024.11.20

(71)申请人上海交通大学

地址200240上海市闵行区东川路800号

(72)发明人贾永宁李奕然邓宇君彭林法

易培云

(74)专利代理机构上海科盛知识产权代理有限

公司31225

专利代理师蒋亮珠

(51)Int.Cl.

G03F7/00(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图3页

(54)发明名称

一种卷对卷纳米压印装置及方法

(57)

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