ISOTR 14644-212023 洁净室和相关受控环境第21部分空气中颗粒取样技术标准立项发展报告.docx

洁净室和相关受控环境第21部分：空气中颗粒取样技术标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part21:Airborneparticlesamplingtechniques

摘要

随着生物制药、半导体制造、微电子技术、航空航天及医疗器械等高科技产业的飞速发展，洁净室和相关受控环境作为保障产品质量与工艺安全的关键基础设施，其重要性日益凸显。空气中颗粒物的浓度与粒径分布是评价洁净室性能的核心指标，而颗粒取样技术的科学性、准确性与可比