CN119439643A 一种曝光机位置误差补偿参数预测方法 (中原工学院).pdfVIP

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  • 2026-08-18 发布于重庆
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CN119439643A 一种曝光机位置误差补偿参数预测方法 (中原工学院).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119439643A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411677456.1

(22)申请日2024.11.22

(71)申请人中原工学院

地址450000河南省郑州市中原区中原中

路41号

(72)发明人席建普林龙峰岳永高聂子凯

刘释聪

(74)专利代理机构沈阳铭扬联创知识产权代理

事务所(普通合伙)21241

专利代理师屈芳

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种曝

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