机械精度设计与检测技术 课件 第10章_现代几何量检测技术简介.pptx

第10章现代几何量检测技术简介10.1 长度测量技术10.2几何公差测量技术（圆度仪）10.3表面粗糙度测量技术10.4制造过程在线检测技术10.5 纳米检测技术

10.1 长度测量技术长度测量的主要被测量是线性尺寸和角度。仅简介坐标测量机、电动量仪、气动量仪及激光干涉仪。10.1.1坐标测量机1.三坐标测量机三坐标测量机（CMM）是一种能在X、Y、Z三个或三个以上坐标上进行测量的通用长度测量工具，是一种高效率的通用精密测量设备。1）三坐标测量机的分类根据ISO10360《坐标测量机的验收、检测和复检检测》第一部分的规定，按照机械结构，对主要的测量机结构类型作如下分类：（