ISO 14644-102022 洁净室和相关受控环境.第10部分化学污染表面清洁度的评定标准立项发展报告.docx

洁净室和相关受控环境第10部分：化学污染表面清洁度的评定标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:CleanroomsandAssociatedControlledEnvironments—Part10:AssessmentofSurfaceCleanlinessforChemicalContamination

摘要

随着半导体制造、生物医药、精密仪器及航空航天等高新技术产业的迅猛发展，洁净室及相关受控环境中的表面化学污染控制已成为确保产品质量与工艺良率的关键因素。表面化学污染的存在会直接导致产品缺陷、设备腐蚀及工