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- 2026-08-20 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119626932A
(43)申请公布日2025.03.14
(21)申请号202411689707.8C23C16/52(2006.01)
(22)申请日2024.11.22
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地址100176北京市大兴区经济技术开发
区文昌大道8号
(72)发明人郑慧娜江伟贾士亮闫志顺
(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理
有限公司11315
专利代理师施敬勃
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
H01L21/677(2006.01)
H10F10/
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