ISO 131422021 光学和光子学.激光和激光相关设备.高反射率和高透射率测量用腔衰荡法标准立项发展报告.docxVIP

光学和光子学激光和激光相关设备高反射率和高透射率测量用腔衰荡法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:OpticsandPhotonics—LasersandLaser-relatedEquipment—CavityRing-downMethodforHigh-reflectanceandHigh-transmittanceMeasurements

摘要

高反射率与高透射率光学元件的精密测量是现代光学工程、激光技术及精密计量领域的核心挑战之一。随着极紫外光刻、空间光学、高能激光系统及量子光学等前沿技术的迅猛发展，业界对反射率/透射率测量精度提出了高达10??乃至10??量级的严苛要求，传统光度法和衰减法已难以满足。腔衰荡技术（CavityRing-Down,CRD）凭借其基于时间域衰减常数测量的独特原理，从根本上摆脱了对光源强度绝对稳定的依赖，展现出极高的测量灵敏度与抗干扰能力。在此背景下，国际标准化组织（ISO）于2021年6月10日正式发布ISO13142:2021《光学和光子学激光和激光相关设备高反射率和高透射率测量用腔衰荡法》，为全球范围内该技术的规范化应用提供了统一的技术框架。本报告系统梳理了该标准的立项背景、技术原理、主要内容、关键参数及其与国内外相关标准的关系，深入分析了标