CN119170494A 分裂栅结构的制备方法 (浙江创芯集成电路有限公司).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.37万字
  • 约 14页
  • 2026-08-21 发布于重庆
  • 举报

CN119170494A 分裂栅结构的制备方法 (浙江创芯集成电路有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119170494A

(43)申请公布日2024.12.20

(21)申请号202411640552.9

(22)申请日2024.11.18

(71)申请人浙江创芯集成电路有限公司

地址311200浙江省杭州市萧山区宁围街

道平澜路2118号浙江大学杭州国际科

创中心水博园区11幢4层-5层

(72)发明人张云皓

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通

合伙)31219

专利代理师杨俊芳

(51)Int.Cl.

H01L21/28(2006.01)

H01L29/423(2006.01)

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档