CN119161524A 一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用 (中节能万润股份有限公司).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.07万字
  • 约 10页
  • 2026-08-21 发布于重庆
  • 举报

CN119161524A 一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用 (中节能万润股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119161524A

(43)申请公布日2024.12.20

(21)申请号202411649152.4

(22)申请日2024.11.19

(71)申请人中节能万润股份有限公司

地址264006山东省烟台市经济技术开发

区五指山路11号

(72)发明人张鹏程王国政陈帅高宪鹏

(74)专利代理机构北京中创博腾知识产权代理

事务所(普通合伙)11636

专利代理师初晓玮

(51)Int.Cl.

C08F212/14(2006.01)

C08F212/08(2006.01)

C08F220/28(2006.01)

G03F7/004(2006.01)

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档