MEMS汽车压力传感器的长期稳定性测试与失效模式分析.pdfVIP

《汽车电器》2025年第6期DesignResearch设计研究131

MEMS汽车压力传感器的长期稳定性测试与

失效模式分析

1，211，211

李保岭，刘梦涛，许鹏，张永胜，梁晓伟

（1.河北美泰电子科技有限公司，河北石家庄050000；

2.中国电子科技集团公司第十三研究所，河北石家庄050000）

【摘要】针对汽车压力传感器长期稳定性不足的问题，文章提出一种悬浮密封结构设计，采用铝合金-

陶瓷复合封装工艺，配合温度补偿算法。通过搭建含温度、压力循环的加速老化试验平台，测试结果表明，

该设计将温漂从±1.8%FS降至±0.28%FS，500h压力循环后输出衰减小于0.5%FS。失效分析显示界面分层

为主要问题，占比62%，经0.5mm硅胶