CN119146047A 一种离子泵抽速测量工装及测量方法 (苏州中科科仪技术发展有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-21 发布于重庆
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CN119146047A 一种离子泵抽速测量工装及测量方法 (苏州中科科仪技术发展有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119146047A

(43)申请公布日2024.12.17

(21)申请号202411642383.2

(22)申请日2024.11.18

(71)申请人苏州中科科仪技术发展有限公司

地址215163江苏省苏州市高新区昆仑山

路189号3号厂房一楼

(72)发明人张峥刘立军韩超聂平岩

李赏王超

(51)Int.Cl.

F04B51/00(2006.01)

F04B37/14(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图2页

(54)发明名称

一种离子泵抽速测量工装及测量方法

(57)摘要

本申请

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