晶圆级金属氧化物薄膜气敏特性研究.pdfVIP

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E.

Preiss1

,

A.

Krauss1

,

和

H.

Seidel2

1

应用研究1部

–

微系统技术，Robert

Bosch

GmbH，德国Gerlingen

2

萨尔

大学微机械与微流体/微致动器，德国萨尔布吕肯

积脉冲激光沉积技术在晶圆级基底上了多种金属氧化物薄膜，旨在寻找适用

于微型气体传感器的材料。通过光谱椭偏仪和四探针测量研究了薄膜厚度与电阻率的径向

依赖性，以评估晶圆范围内的均匀性。层结构设计采用了一种创新的双面沟槽硅遮罩。在

气体测试中，通过比较各层对气体气氛的电阻响应特性，以测试火源排放产生的数ppm浓

度一氧化碳作为模型气体。实验表明氧化铟和氧化锡具有良好的灵敏度和快速响应特性。

一氧化碳，金属氧化物，薄膜，脉冲激光沉积

引言

金属氧化物（SMOX）自五十年前首批器件商业化以来，一直是电阻式化学传感

器的材料。SMOX

被广泛应用于还原性和氧化性气体的检测。通常将气体敏感金属

氧化物材料加热，并测量烧结压块或厚膜材料的电阻。这些传