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- 2026-08-22 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119347569A
(43)申请公布日2025.01.24
(21)申请号202411640611.2B24B41/06(2012.01)
B24B37/30(2012.01)
(22)申请日2024.11.15
(71)申请人上海集成电路装备材料产业创新中
心有限公司
地址201807上海市嘉定区娄陆公路497号
(72)发明人杨忠宇陈鸿泽雷炀烊
(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
公司11227
专利代理师高琴
(51)Int.Cl.
B24B7/22(2006.01)
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