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CN119517775A 晶圆的缺陷检测方法及装置 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-08-24 发布于重庆
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CN119517775A 晶圆的缺陷检测方法及装置 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119517775A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202411653029.X

    (22)申请日2024.11.19

    (71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

    地址710000陕西省西安市高新区西沣南

    路1888号1-3-029室

    申请人西安欣芯材料科技有限公司

    (72)发明人万珣

    (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

    公司11243

    专利代理师张博

    (51)Int.Cl.

    H01L21/66(2006.01)

    权利要求书2页说明书7页附图2页

    (54)发明名称

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