TCAQI-半导体光刻胶用高纯溶剂丙二醇甲醚醋酸酯技术规范及编制说明.pdf

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ICS71.080.60

CCSG17

CAQI

中国质量检验协会团体标准

T/CAQIXXXX—XXXX

半导体光刻胶用高纯溶剂丙二醇甲醚醋酸

酯技术规范

Technicalspecificationforhigh-puritysolventPGMEAforsemic

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