（共10页PPT）常铜制程s.pptxVIP

ELECTROLESSCOPPERPLATING化学沉厚铜制程广州佰勤贸易有限公司韩国仁川化学株式会社GuangzhouBepanyLimited320753/87320853320201

化学沉铜制程Ⅰ.预处理化学品Ⅱ.化学沉铜?铜清洁剂?微蚀剂?活化剂?加速剂?薄铜?中/厚铜?高,沉铜越厚

流程图水洗清洁微蚀水洗水洗加速催化预浸水洗化学沉铜

铜清洁剂?CP-3000z特别为如聚酰胺类基材设计的调理剂,独立碱性组分设计,保护对碱性敏感的材料.?CP-8000(普通型)z碱性的清洁作用,调理性能.

微蚀剂?EP-222z经济型过硫酸混合物z为特别价格要求设计?EP-229z硫酸双氧水型

活化剂I.预催化II.催化?PCT-740-Pd/Sn胶体?PCT-SALT-粉状:开缸与维护-3~4%inP-SALT-稳定,添加量少

加速剂?PCT-747-硫酸型-经济型

化学沉铜?ICP-360中/厚铜?三组分体系:-ICP-360A:铜/甲醛(+2)-ICP-360B:络合剂-ICP-360C:苛性(+)-福尔/ICP-360Stable?低甲醛:3.5g/lverses9~12g/l?操作:27~32℃.?沉积速率快:1.5~2μm.I