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ALD工序FMEA培训考核试卷

基本信息：[矩阵文本题]*

姓名：

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部门：

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员工编号:

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岗位：

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一、单项选择题（共15题，每题3分，合计45分）

1.?PFMEA完整中文名称是（）[单选题]*

A.设计失效模式及后果分析

B.过程潜在失效模式及后果分析(正确答案)

C.设备故障分析

D.产品检测分析

2.?ALD工序SPC膜厚标准管控范围为（）[单选题]*

A.3nm-5nm(正确答案)