CN119126728A 一种半导体生产流程的自由停机控制系统、方法及设备 （上海朋熙半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119126728A

(43)申请公布日2024.12.13

(21)申请号202411604137.8

(22)申请日2024.11.12

(71)申请人上海朋熙半导体有限公司

地址201208上海市浦东新区涵桥路619号

金鼎天地C栋15-17楼

(72)发明人曹宏辉杨哲

(74)专利代理机构上海港慧专利代理事务所

(普通合伙)31402

专利代理师龚张迪

(51)Int.Cl.

G05B19/418(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图3页

(54)发明名称

一种半导体生产流程的自由停机