T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱.docx

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ICS29.045CCSH80

团体标准

T/CSTM01199—2024

多层金属薄膜层结构测量分析方法X射

线光电子能谱

Multilayermetalfilm-Measurementandanalysismethodoflayer

structure-X-rayphotoelectronspectroscopy

2024-01-05发布2024-04-05实施

中关村材料试验技术联盟发布

T/CSTM01199—2024

I

前言

本文件参照GB/T

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