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干式真空泵在国内外的研究现状与发展方向的文献综述

在20世纪末干式真空泵在日本使用并投入工业以来，干式真空泵在工业制造上获得了长足发展，逐渐有了较好的市场地位和应用前景，干式真空泵的性能和种类随工业上的要求也在逐渐提高和扩大。其中日美法德四国掌握了领先其他国家的关于干式真空泵先进制造技术。美国varian(瓦里奥)有限公司自主开发设计和生产的专门用于各种干式大型真空dvpa泵的真空系列产品,其实际使用的真空度更高的并且可以直接通过手动控制泵内温度的真空泵,这已被国际行业广泛应用并达到了较好的实际使用效果。德国sterlingsihi公司于1997年开始进行研究和开发并成功研制出新型真空泵sihidry,它本身可能就是目前为止世界上第一台完全采用具有真空技术，并为实际意义上的大型真空高压输送泵,以上两种类型真空泵都主要是在沿着真空转子的一定长度进行填充使用防腐蚀材料用来作为真空泵的密闭件以便于继续保持良好的密闭度和性能。

尽管到目前为止干式真空泵的系列分支逐渐变多，性能也逐渐增强,但是通常所用的机械的干式真空泵中,比如爪式真空泵,其吸气的流量和抽速都很难作为常用干式真空泵的主要转矩和旋转驱动力,并且其设计和制造工艺困难也大,成本高;另外罗茨泵还是一种泛指利用多叶串联级数泵即可以同时在真空泵上进行多叶串联旋转运动的罗茨泵,其结构缺陷与爪式真空泵相似。