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微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法.pdfVIP

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  • 2026-08-30 发布于河北
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微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法.pdf

    ICS31.080.99

    CCSL59OB

    中华人民共和国国家标准

    GB/TXXXXX—XXXX/1EC62047-18

    微机电系统(MEMS)技术薄膜材料的弯曲

    试验方法

    Micro-electromechanicalsystemstechnology——Bendtes

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