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- 2026-08-29 发布于四川
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- 即将实施
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- | 2026-07-30 颁布
- | 2027-02-01 实施
ICS31.200
CCSL55
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT42709.362026IEC62047-362019
半导体器件微电子机械器件
第部分:压电薄膜的环境及
36MEMS
介电耐压试验方法
——
SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices
:
Part36Environmentalanddielectricwithstand
testmethodsforMEMSi
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