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晶圆测试工艺流程规范.docx

晶圆测试工艺流程规范.docx

    晶圆测试工艺流程规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、晶圆测试项目概述与目标 3

    二、晶圆测试环境洁净度标准 5

    三、测试设备选择与硬件配置 7

    四、测试耗材物料准备规范 10

    五、晶圆测试程序开发与调优 12

    六、测试脚本编写与参数设定标准 15

    七、晶圆导入与外观检查流程 17

    八、晶圆对位与加载操作规范 19

    九、探针测试工艺技术要求 22

    十、电学参数测试工艺细则 24

    十一、逻辑功能测试执行与流程控制 26

    十二、可靠性测试与老化测试方案标准 29

    十三、测试结果判定与分级处理流程 32

    十四、良率统计与失效品

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