CN119446983A 一种金刚石片预处理方法及装置 （重庆启晶科技发展有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119446983A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411594831.6

(22)申请日2024.11.10

(71)申请人重庆启晶科技发展有限公司

地址401332重庆市沙坪坝区西园南街16

号

(72)发明人程衍喆张大为吴克难肖风权

(74)专利代理机构重庆纵义天泽知识产权代理

事务所(普通合伙)50272

专利代理师丁秋丹

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

C23C16/02(2006.01)

C23C16/27(2006.01)

H01L21/02(2006.01)